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差距很大!又斥巨资买光刻机 国产半导体设备困境如何解?

导读: 密集的设备采购消息一方面显示出几家制造厂的建设项目进展顺利,但是与此同时也反映出,国产设备业的发展存在诸多不足,特别是在半导体关键设备之一光刻机方面,国产品牌的差距仍然很大。改变这种状况,缩小与国际先进水平间的差距还需要长期的努力。

上下游协同推动设备业发展

虽然我国设备业发展面临的问题很多,但是移动电子、通信、汽车电子、物联网等领域的高速发展为我国设备业提供了发展机遇。市场需求驱动产业发展,突破设备供给质量,提升设备性能以及工艺适用性、增强产业链上下协同作用成为目前需要解决的最大问题。

柳滨向记者表示,一方面,意识到发展设备业的重要性十分重要,设备是集成电路的基础,需要国家和产业的高度重视。另一方面,设备业的发展离不开零部件的支持,但是目前我国在设备零部件上处于被封锁状态,除了几项关键零部件在积极研发外,其他的零部件均为进口,我国自主生产零部件的市场占有率极低,需要有关方面高度重视。

在研发投入上,柳滨表示,设备业的发展需要持续的投入,并且要有“小投入无产出,大投入高回报”的准备。针对目前国内半导体设备产业链不完整、支撑能力弱、不能与半导体制造同步发展等现况,需要加大对设备产业发展的支持,打造国内设备产业发展的政策机遇。

作为半导体产业链的上游环节,半导体设备产业的发展,离不开国家的支持。由于设备业自身的产业现状,设备制造单位不可能与世界上已经成熟的设备供应商具备相同的实力。所以设备业的发展需要巨大研发经费投入、专业技术队伍建设以及与下游芯片制造商建立起长期的合作关系。“与下游芯片制造商建立长期合作关系最为重要,这已经成为我国半导体设备产业发展长期存在且还未最终解决的关键环节。”柳滨说。

国内半导体产业链上下游企业协同发展是国家战略顶层设计的措施之一,要实现这一战略要求,柳滨表示,首先设备制造商保证设备供给质量。其次下游企业要积极配合,国家除了首台套激励政策外,更多地站在市场角度和商业层面理顺这种需求和供给关系,比如先建立200mm国产设备示范应用线或引导线,补齐国产设备门类缺失的短板,提升国产设备应用信心。

郭高航建议,高阶晶圆制造设备可先安排在部分中试线或国内某些研发中心做测试,待国内的高阶产线趋于稳定后,再进一步考虑将本土设备切入量产产线进行全面验证。“在验证过程中,需要有魄力的设计公司参与进来,更需要政府针对各参与方在政策和资金方面给予全力支持。”郭高航说。(来源:中国电子报)

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