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广东省积极推动MOCVD设备国产化

导读: 日前,广东省省科技厅李兴华厅长主持召开广东省中科宏微半导体设备有限公司国产MOCVD项目协调会,专题研究解决省财政资金拨付问题。

  日前,广东省省科技厅李兴华厅长主持召开广东省中科宏微半导体设备有限公司国产MOCVD项目协调会,专题研究解决省财政资金拨付问题。

  会议上听取了省工业技术研究院、中国科学院半导体研究所等单位对国产MOCVD项目工作进展的情况汇报,以及关于省财政资金拨付存在的问题和有关建议。省科技厅、省财政厅相关负责同志充分肯定了项目实施取得的积极成效,与项目承担单位就相应解决方案交换了意见,并就项目承担单位变更等事项达成初步共识。双方同意为项目开辟绿色通道,保证资金顺利到位,推动项目实施早见成效。协调会对推动“MOCVD设备国产化”项目实施以及中科宏微公司建设起到了积极的促进作用。

  李兴华厅长表示,对省财政厅给予项目的大力支持表示感谢,并强调国产MOCVD设备是全面提升LED产业自主创新能力和产业竞争力的重要突破口,要联合政产学研多方力量,加强沟通协调,形成合力,尽快突破LED产业的核心技术,抢占产业竞争的制高点。

  经省科技厅全力争取和推动,中科院半导体所与省工业技术研究院等省内单位合作共建广东省中科宏微半导体设备有限公司(以下简称中科宏微公司),推动LED国产MOCVD的商业化。截至目前,在承担单位的共同努力下,中科宏微公司厂房超净系统已交付使用,首台48片国产MOCVD设备已经到位并正进行工艺调试,氮化镓外延片沉积和产品测试进展顺利,整机设备可望于年底正式下线并交付使用。
 

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