可生产出传输速度最高的LED晶圆的粉色蓝宝石问世

2011-12-15 11:41

　　GT Advanced Technologies 近日公布了一项案例研究，详述了一系列盲型材料研究的发现，该系列研究评估了蓝宝石颜色对 LED 制造工艺的影响。研究表明，无论来源如何，所有蓝宝石均在核心处显现出颜色，GT 高级蓝宝石熔炉 (ASF™) 材料的粉色并不表示宝石含有杂质，粉色 ASF 蓝宝石对 LED 制造工艺没有不良影响，也无需采取其它步骤或花费更多成本去除粉色。此外，研究表明，在所检验的样品中，GT ASF 粉色蓝宝石材料能够用于生产出吸收率最低、传输速度最高的LED晶圆。

　　所有研究均采用 GT ASF 蓝宝石材料盲型样本以及其它来源的 LED 级蓝宝石进行。案例研究结果从独立进行的辉光放电质谱法 (GDMS) 分析以及高亮度 (HB) LED 装置制造研究中得出，高亮度 (HB) LED 装置制造研究采用光热共光路干涉仪 (PCI) 分析进行。

　　蓝宝石材料和设备部门副总裁兼总经理 Cheryl Diuguid 说：“ GT 为 LED 行业提供蓝宝石已超过 12 年时间。这些研究进一步验证了我们长久以来从材料客户那里听到的积极反馈——ASF蓝宝石生长材料拥有卓越的质量和性能，尽管它有一点粉色。近期案例研究的发现证实了我们长久以来所了解到的，即 GT 的 ASF 工具可生产出质量最好的蓝宝石材料，并且表现出对 LED 制造商来说最为重要的特质。包括只有少量或没有气泡这类严重缺陷，表面粗糙度 (Ra)、总厚度变动 (TTV)、弯曲度和弧度以及最终的高晶圆产量等关键 LED 晶圆参数方面表现良好。”

　　这个新研究是由 GT 发起的一项更广泛的材料特性项目的一部分，该项目旨在研究蓝宝石材料特性对高亮度 LED 价值链的整个制造工艺的影响。