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Veeco推出三款新系列氮化镓MOCVD设备

2012-06-23 07:15
汉水狂客
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         6月7日,Veeco宣布推出3款新型市场领先的Turbo Disc® MOCVD,用于生产高亮度LED:Turbo Disc Max Bright® M™,Turbo Disc Max Bright MHP™以及Turbo Disc K465i HP™。

         Max Bright M: 更紧凑的模块化Veeco多反应腔设备。与Max Bright相比Max Bright M能提供更好的服务便利性,厂房面积利用率提高15%。该机型具有更好的布局配置灵活性以适应不同客户的场地要求。

         Max Bright MHP: 模块化的“M”机型中的高性能版。Max Bright MHP的片内波长均匀性比Max Bright提高了20%。由于技术进步,热性能和流动性能得到改善,因此良率得以提高。与MaxBright相比MaxBright MHP的使用成本更低。

         K465i HP: 是Veeco的单反应腔MOCVD设备的高性能版。与K465i相比片内波长均匀性提高20%而使用成本更低。

         这些新设备均支持2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸晶圆生长。现有的Max Bright和K465i设备都能很容易地现场升级到高性能版。所有Veeco的MOCVD设备都拥有维护需求低的Turbo Disc技术,从而具有最长的设备连续生产时间和最高产量。

         据调查,2010年推出的K465i设备是该年度最畅销的MOCVD设备。2011年推出的Max Bright是去年最畅销的机台。化合物半导体杂志最近为Veeco公司颁发了“化合物半导体制造奖”,评价道“Max Bright设备是化合物半导体制造业在过去一年中的最大突破”。

 

声明: 本文由入驻维科号的作者撰写,观点仅代表作者本人,不代表OFweek立场。如有侵权或其他问题,请联系举报。

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