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MO源应用概况及其市场发展格局分析

  电子信息技术是当今世界最活跃的生产力,电子信息技术的核心是半导体材料。化合物半导体微结构材料的产生与发展,是电子信息技术领域的一场革命,在理论上,引入了全新的思想和设计,在实践上,由于其展示的优异的电学、光学和磁学等性能,将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。

  半导体微结构材料技术的发展状况是衡量一个国家电子信息技术发展水平的重要标志。发展半导体微结构材料技术对实现我国科学技术现代化、国防现代化和发展国民经济具有深远的意义。

  MO源即高纯金属有机化合物。是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料。

  由于MO源产品要求纯度极高,而绝大多数MO源化合物对氧气、水汽极其敏感,遇空气可发生自燃,遇水可发生爆炸,且毒性大,所以MO源的研制是集极端条件下的合成制备、超纯纯化、超纯分析、超纯灌装等于一体的高新技术。

  一、MO源简介

  金属有机化学气相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,简称MOCVD),是近年来发展起来的用于制造高技术薄膜材料的先进方法。

  化合物半导体是由两种或两种以上的元素化合而成的半导体材料,据其所含元素的数量可分为二元系、三元系和四元系。尤其是由元素周期表中III-V族元素生成的化合物半导体材料(如氣化镓GaN、磷化铝镓铟lnGaAIP、砷化镓铝AIGaAs等),在激光技术、卫星通信、全球定位系统等领域,有着广泛的应用。

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