萨姆肯
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日本萨姆肯公司推出新型SiC加工处理生产刻蚀系统
日本上市公司萨姆肯（Samco）发布了新型晶片盒生产蚀刻系统 ，处理SiC加工，型号为RIE-600iPC。该系统同时支持 25个6英寸晶圆，经由系统转换室/加载互锁真空室自动传递晶圆到处理室。
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