OFweek总结：2011年中国LED产业十大关键词

2012-01-10 17:52

　　关键字二：MOCVD国产化

　　MOCVD国产化倍受期待

　　MOCVD即金属有机物化学气相沉积设备，是LED外延的最关键设备，其购置成本约占整个LED生产线成本的三分之二。半导体照明产业的迅猛发展，对MOCVD设备的需求量不断增加，而全球90%以上的MOCVD市场都被德国AIXTRON公司和美国VEECO公司的垄断，目前我国生产型MOCVD设备完全依赖进口，每年需投入巨资来购置此类设备，而且维护和零配件的采购存在诸多不便。

　　LED外延工艺难度很高，外延薄膜质量、工艺均匀性、工艺重复性的严格要求对外延工艺开发、MOCVD设备开发提出了巨大的挑战，反应腔室气流场设计涉及腔室设计、进气系统设计、工艺组件设计、基片旋转系统设计、真空系统设计等多项关键技术等技术难度非常高，高温下的高均匀、高精度加热控制，同时，多个不同温度的工艺步骤在同一腔室内进行，工艺温度频繁切换，这些都对加热系统的设计提出了巨大挑战精度控制要求高，且多步工艺在单腔室内频繁切换，对系统的硬件可靠性要求非常高，同时，LED外延工艺开发资金耗费巨大。

　　广东省中科宏微半导体设备有限公司成立于2011年1月，由广东省工业技术研究院（广州有色金属研究院）与中科院半导体所共同设立，主要致力于推进MOCVD国产设备的研制及产业化工作。公司承担了第一批省战略性新兴产业专项资金LED产业项目“MOCVD设备国产化”，项目计划总投资1.6亿元，研制可一次性生长48片2英寸氮化镓基材料的MOCVD装备并开展工艺验证。在省科技厅的大力支持和有关方面的共同努力下，项目按计划进度实施并取得积极成效。目前，MOCVD设备样机已安装完毕并转入生产工艺调试和验证阶段。

　　据了解，上述项目的技术来源为半导体研究所。半导体研究所自“九五”期间就开始了MOCVD设备的研制工作，从最初的单片MOCVD设备到多片MOCVD设备，MOCVD设备的研制也已有了十余年的历史，并申请了多项国家发明专利。