MOCVD
MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。Metal-organic Chemical Vapor Deposition (金属有机化合物化学气相沉淀)。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热查看详情>分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行,衬底温度为500-1200℃,用直流加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。
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Veeco二季度收入1.64亿美元,借MOCVD设备打入复合半导体市场
美国外延沉积和工艺设备制造商Veeco Instruments 2022年第二季度收入为1.64亿美元(高于其1.5-1.7亿美元指导的中点),同比增长12.33%。其正在努力通过MOCVD解决方案打入复合半导体市场,主要是针对micro-LED和电力电子应用。
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中微公司2019年业绩报喜,正在研发用于Mini LED的MOCVD设备
4月16日晚间,MOCVD设备制造商中微半导体设备(上海)股份有限公司公布了亮眼的2019年成绩单。报告期内,该公司已开发出用于深紫外LED生长的高温MOCVD设备,并且正在开发用于Mini/Micro LED的新型MOCVD设备。
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MOCVD设备大厂Veeco公布2018年业绩 营收突破5亿美元
据悉,MOCVD设备大厂美国维易科(Veeco)精密仪器有限公司日前披露了2018年业绩,2018年全年收入为5.421亿美元,相比比2017年的4.757亿美元增长14%。
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Micro LED及Mini LED等将成MOCVD大厂Veeco未来重心
据悉,虽然MOCVD大厂Veeco大部分收入来自销售用于LED生产的MOCVD系统,但公司目前的重心已经转向销售制造Micro LED和Mini LED的系统、用于5G的GaN电力电子器件、用于电动车辆的电源管理、用于无人驾驶车辆中的3D扫描以及手势识别的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)等。
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LED芯片价格下滑 中国厂商延缓购置MOCVD设备
据业内人士透露,中国LED外延晶圆和芯片制造商原本计划在2018年采购共计280台至300台MOCVD设备,但是鉴于LED芯片价格持续下降,暂时推迟了超过100台设备的采购订单。
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LED生产应用:Vecco推出新的AS/P MOCVD系统
威科仪器(Veeco)日前宣布推出新的AS/P(磷化砷)MOCVD系统TurboDisc K475i。LED厂商可以采用TurboDisc K475i MOCVD系统生产红色、橙色和黄色(R/O/Y)LED。该系统还可以制造多结III-V族太阳能电池、激光二极管和晶体管。
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三安光电大肆削减爱思强MOCVD设备订单至3台
据报道,中国最大的LED制造商三安光电已与德国沉积设备制造商爱思强就大肆削减其50台AIX R6型MOCVD设备订单至最终的3台达成协议。
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MOCVD“龙头”Veeco收购SSEC进军先进封装市场
12月4日,美国精密仪器制造商Veeco宣布收购私人持有的美国固态半导体设备有限公司(SSEC)。总部位于宾夕法尼亚州霍舍姆的SSEC在设计开发晶圆湿式处理设备来保持在技术上的领先地位。
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三安光电粉碎“蹭补”流言 再添MOCVD恐遭产能过剩
德国LED磊晶生产设备大厂爱思强(Aixtron)26日宣布,已接获磊晶大厂三安50台MOCVD(有机金属化学气相沉积)机台订单,将于第四季开始出货。
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610亿片LED芯片背后:MOCVD市场是一场泡沫吗?
在未来610亿片LED芯片市场中不论谁主沉浮,对于MOCVD设备商这并不重要,重要的是LED芯片市场给MOCVD带来的是一场泡沫还是一场盛宴?
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维易科(Veeco):“MOCVD + OLED”两者增长空间巨大
维易科近期在深圳举办了媒体见面会,公司相关负责人在接受OFweek半导体照明网采访时表示:"未来非常看好'MOCVD设备'和'OLED'的发展,两者具有很大的增长空间。"
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2014年我国新增MOCVD设备将超过250台
OFweek行业研究中心近期发布了《2014-2016年中国MOCVD设备市场研究及前景分析》报告(以下简称“《报告》”),《报告》中提到,2014年受下游市场需求的驱动,MOCVD设备需求开始进入稳定增长阶段,并得出结论:2014年国内新增MOCVD机台数至少超过250台。
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MOCVD设备国产化:国内企业需先炼内功
近日,华灿光电“采用国产MOCVD设备开发/产业化超高亮度LED”项目已接到国家工信部项目立项通知,获批补贴款600万元。MOCVD设备国产化再次成为业内讨论热点。OFweek LED行业分析师认为,MOCVD设备国产化的前提是国产MOCVD企业自身要练好内功,切实满足产业的发展需求。
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中晟光电张伟:高端LED MOCVD设备国产化之路探索
在此次“OFweek第十届LED前瞻技术与市场研讨会”上,来自中晟光电设备(上海)有限公司的张伟博士发表了名为“高端LED MOCVD设备国产化之路探索”的主题演讲。
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Veeco公布2011年Q4财报和MOCVD设备新订单
晶元光电将采用Veeco的TurboDisc K465i GaN MOCVD系统用于生产硅衬底GaN基LED。
Veeco,硅基氮化镓,MOCVD设备,LED 2012-02-15 -
MOCVD出货量出现两年半来的首次同比下降
IMS Research于2011年11月发布了300页的LED季度供需报告,报告中MOCVD相关章节显示了MOCVD市场份额的重大变化以及MOCVD市场前景。
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LED厂商推迟MOCVD设备采购 Aixtron公司市场份额受威胁
近日,全球领先的有机金属化学气相沉积(MOCVD)设备供应商Aixtron公司宣布下调2011年销售指标并将订单量减少了1亿欧元,因为Aixtron在与亚洲客户的交谈中了解到客户对于宏观经济日益增加的担忧。
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MOCVD分析:2010年高歌猛进 2011年仍风景独好?
IMS Research发布的的MOVCD研究报告指出,受中国市场需求的推动,固态照明应用初现,LED背光继续渗透,2011年MOVCD出货量有望超过的1000台。
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最大氮化镓LED MOCVD反应器诞生 LED制造成本有望下降
来自AIXTRON SE公司官方网发布的消息,AIXTRON SE最新推出的CRIUS II-L MOCVD反应器将MOCVD反应器的容量,生产能力和LED生产成本都提升到新的高度,成为世界上最大容量的MOCVD反应器。
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全球各国MOCVD装机量预测 中国力压群雄居首位
市场研究机构 Displaybank 的最新报告指出,中国 LED市场正呈现不寻常的成长,随着本土LED厂商不断提高 LED 产业投资规模,预计在 2012年成为中国大陆 MOCVD 设备累计装置量全球第一。
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两大巨头维易科、爱思强纵论MOCVD
维易科(Veeco)MOCVD市场总监李加博士认为:MOCVD是决定高亮度LED亮度、良率和成本的最关键生产步骤; 爱思强(Aixtron)营销副总裁Rainer Beccard 博士表示: 增大晶圆的尺寸可以提高MOCVD外延片产量。
MOCVD,维易科,LED,爱思强 2011-05-30 -
四十八研究所:MOCVD设备国产化难
MOCVD设备是制作LED外延片的关键设备,而LED外延片的水平决定了整个LED产业的水平。我国于2003年正式实施“国家半导体照明工程”,并在“十五”、“十一五”重点攻关课题和“863”计划中,将MOCVD设备国产化列入重点支持方向。
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1200台MOCVD的思考 设备国产化才是关键
LED产业具有巨大的市场潜力。一个简单的数字可以告诉大家,全球半导体业销售额今年可达3000亿美元,平板显示业为1000亿美元,光伏产业为300亿美元,而LED刚90亿美元,反映LED业的前景巨大。所以实现MOCVD设备国产化是迟早必须要解决的事。
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Veeco副总裁Jim Jenson:从MOCVD市场态势看LED产业
在中国上海专访了LED磊晶设备大厂Veeco 的副总裁Jim Jenson,关注MOCVD设备在当前全球与中国LED市场的发展,以及未来LED产业会面临的变化。
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推动LED产业发展 需加强国产MOCVD设备开发
MOCVD设备是LED产业发展的最关键设备,对LED产业发展具有举足轻重的作用,国家相关部门应集中各方研制MOCVD设备的单位的人才和资源,解决制造设备中的关键技术,掌握具有自主产权的核心技术,并尽早实现MOCVD设备国产化量产。
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